-
TF-1200-PECVD等離(li)子增(zeng)強化(hua)學氣相沉積系統
TF-1200型(xing)等離(li)(li)子(zi)增強化學氣相沉積系統滑軌式設計在操(cao)作時(shi)可將實(shi)驗(yan)需要(yao)的(de)(de)恒定(ding)高(gao)溫(wen)直(zhi)接推到(dao)(dao)樣(yang)(yang)(yang)品(pin)處，使(shi)樣(yang)(yang)(yang)品(pin)能得到(dao)(dao)一(yi)個快(kuai)(kuai)速(su)的(de)(de)升溫(wen)速(su)度，同(tong)樣(yang)(yang)(yang)也(ye)可將高(gao)溫(wen)的(de)(de)管式爐直(zhi)接推離(li)(li)樣(yang)(yang)(yang)品(pin)處，使(shi)樣(yang)(yang)(yang)品(pin)直(zhi)接暴露在室溫(wen)環境下，得到(dao)(dao)快(kuai)(kuai)速(su)的(de)(de)降(jiang)溫(wen)速(su)率。并可選配氣氛(fen)微調(diao)裝置，可準(zhun)確的(de)(de)控制反應(ying)腔體(ti)內部的(de)(de)氣體(ti)壓(ya)力(li)，帶刻度的(de)(de)調(diao)節閥對于做低壓(ya)CVD非(fei)常簡(jian)單實(shi)用(yong)，工藝重復性(xing)好，對于石墨烯生長工藝非(fei)常合(he)適，也(ye)同(tong)樣(yang)(yang)(yang)適用(yong)于要(yao)求快(kuai)(kuai)速(su)升降(jiang)溫(wen)的(de)(de)CVD實(shi)驗(yan)。 查看更多
共 1 條記錄，當前 1 / 1 頁 首頁 上一頁 下一頁 末頁 跳轉到第頁
